发布时间：2026-05-27
资料简介：本白皮书系统阐述了原子级制造的内涵、原理、关键技术及发展趋势。白皮书提出原子级制造是物质科学与制造科学的深度融合，以批量原子操控为核心特征，涵盖原子精准去除与改性、原子级构筑、原子级测量与标准三大技术体系。文档深入分析了能场/能束与物质的原子尺度作用原理、原子层抛光/刻蚀/切削、原子层沉积/分子束外延、高深宽比结构构筑、原子级器件设计等核心方向，并提出了三大科学问题与十大技术难题。适用于先进制造、半导体、航空航天、国防军工等领域的研究人员及产业规划者，为原子级制造技术攻关与产业化布局提供系统性参考。
资料等级：
VIP
