首页新闻文章资料视频网博会社区博客俱乐部

报道

导 语

传感器技术是信息技术的三大支柱之一，是实现物联网和智能控制的关键技术。传感器技术发展到近代，出现了具备信息处理能力的智能传感器，它对外界信息具有一定检测、自诊断、数据处理以及自适应能力。随着5G万物互联时代的到来，智能传感器的产业前景十分广阔。根据Markets and Markets报告，全球智能传感器市场规模将从2020年的366亿美元达到2025年的876亿美元，年均复合增长率19.0% 。而融合了微机电和控制技术的MEMS传感器，是当前传感器的主流。

什么是MEMS传感器

MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造出来的微型传感器。相比传统传感器，MEMS传感器具有体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成和大批量生产等优势，此外，由于集成有微电子电路，还可以实现信息的预处理，并发展出自诊断、自校准和自学习能力，是近代智能传感器发展的主流方向。

常见MEMS传感器

MEMS压力传感器

MEMS压力传感器是最广泛使用的MEMS产品之一，它是一种薄膜元件，受到压力时变形。根据工作原理可以分为压阻式、电容式、光学、谐振传感器以及其他类型等，其中最常用的是压阻传感器和电容传感器。MEMS压力传感器可以感知的压力范围很宽，从微压、低压、中压到高温高压。目前已经广泛用于微型机电系统、汽车、航空动力学、工艺控制和生物医学等方面。

MEMS惯性（组合）传感器

MEMS惯性（组合）传感器又称惯性测量单元（Inertial Measurement Unit，简称IMU），通常包含速度传感器（即加速计）、角速度传感器（即陀螺仪）、磁感应传感器（即磁力计），应用范围非常广泛，从军事防御、机器人、船舶、飞机和无人机、结构监测、可重复使用航天运载器和微型卫星，到监测建筑物状态、监测风力发电厂、太阳能发电厂、高压线路、水坝、管道等，再到智能手机、工业自动化、自动/无人驾驶汽车、智能家居等。

射频（RF）MEMS

射频微机电系统(RF MEMS)是MEMS技术的重要应用领域之一，也是二十世纪九十年代以来MEMS领域的研究热点。射频RF（Radio Frequency）MEMS器件主要有：移相器、滤波器、波束天线等，可广泛应用于雷达、手机、无线人机交互设备、导航、微纳卫星等。

MEMS麦克风

MEMS麦克风具有耐热、抗震、灵敏度与信噪比高，且易于集成麦克风阵列提高通话质量。MEMS麦克风在消费电子、汽车、医疗等领域有广泛的应用。随着人工智能技术的快速崛起，可穿戴智能设备、无人驾驶、智能家居等物联网领域将成为MEMS麦克风的新兴市场。

MEMS光学传感器

光学与微机电技术的结合又叫微光机电系统（Micro-Opto-Electro-Mechanical System，MOEMS），是MEMS技术的一个重要分支。从光学系统工作原理角度区分MOEMS，有反射式、透射式、衍射式、干涉式以及波导等。MOMES中的微光学元件在微电子和微机械装置的操控下实现对光束进行汇聚、衍射、反射、相位调制等控制，从而可实现光开关、衰减、扫描、成像和探测等功能。此类的一个应用热门是非制冷红外热成像和探测器，其在军事和商用领域具有非常广泛的应用。

MEMS气体传感器

气体传感器是一种将气体的成份、浓度等信息转换成可以被人和机器读懂的信息装置。常用的包括有：半导体气体传感器、电化学气体传感器、催化燃烧式气体传感器、热导式气体传感器、红外线气体传感器、固体电解质气体传感器等类型。气体传感器广泛应用于工业、生活的各个领域，如石油、化工、钢铁、冶金、矿山、环保、市政、医疗、食品等诸多领域。

MEMS传感器典型应用场景

汽车工业

工业机器人

石油化工

消费电子

航空航天

生物医学
MEMS浅析 MEMS浅析

MEMS传感器未来发展趋势

高精度

高可靠性

高度集成

微功耗化（无源化）

微功耗化
（无源化）

微型化

智能化

国外知名MEMS厂商

博世

罗伯特·博世是知名德国工业企业。博世传感器为智能手机、平板电脑、可穿戴设备及物联网产品开发并提供定制MEMS传感器与解决方案。产品组合包括3轴加速度计、陀螺仪和地磁传感器、集成6轴和9轴传感器、环境传感器以及全面的软件组合。

博通

Broadcom Corporation （博通公司）（Nasdaq：BRCM）是全球领先的有线和无线通信半导体公司。得益于射频MEMS器件和市场的迅速发展，博通成为近年来MEMS领域排名领先的厂商。

意法半导体

STMicroelectronics是一家欧洲电子和半导体制造商，提供智能驾驶、智能家居、智慧城市和智能工业应用的关键解决方案。该公司的MEMS和传感器，广泛应用于IoT、低功耗设备、精确导航和定位、工业4.0、增强型虚拟现实组件和智能手机等。

恩智浦

NXP总部位于荷兰，设计和制造用于移动应用、汽车信息娱乐、消费电子、网络、无线基础设施、识别、照明和安全应用的软件和半导体。该公司的产品组合包括运动传感器、电容传感器、压力传感器、触摸传感器和磁性传感器。公司2019财年实现收入88.8亿美元。

霍尼韦尔

霍尼韦尔国际公司是全球领先的传感器技术公司之一，提供基于物联网的传感器和相关解决方案。该公司的产品组合包括50000多种产品，从各种开关到位置、速度和气流传感器。

德州仪器

德州仪器（Texas Instruments，简称：TI），是美国德克萨斯州一家半导体跨国公司，以开发、制造、销售半导体和计算机技术闻名于世，主要从事创新型数字信号处理与模拟电路方面的研究、制造和销售。在MEMS方面，该公司主要专注于MEMS微镜阵列。

泰科电子

TE Connectivity (TE)是全球技术领导者，最大的传感器公司之一。其传感器和连接技术对于当今日益紧密互连的世界至关重要。提供将近50万种不同类型的连接传感器产品，应用于汽车、工业、医疗、家用电器、航空航天、国防以及工商业运输等多个领域。

索尼

索尼（Sony）是图像传感器的领导者，独占全球超过一半的市场份额。近期索尼宣布将发布两款用于工业设备的新型短波红外（SWIR）图像传感器，该产品能够感应到人眼看不见的波长，支持不同应用领域的相机和测试设备开发，有助于工业设备的多样化发展。

楼氏电子

楼氏电子是先进微声学器件、音频处理和精密器件解决方案全球供应商和市场领导者，MEMS麦克风巨头，有全球最大的硅麦克风工厂。

亚德诺（ADI）

数据转换和信号处理技术全球领先的供应商，涵盖了全部类型的电子设备制造商。公司总部设在美国马萨诸塞州诺伍德市，设计和制造基地遍布全球。如今ADI的MEMS产品研发重点在4个新领域：陀螺和惯性单元、超低噪声、超低功耗和高温领域。

TDK

MEMS传感器和传感器解决方案的一站式服务商。TDK产品包括加速度计、陀螺仪、磁力计、压力传感器、MEMS麦克风，以及用于测距和指纹生物识别的超声波传感器，以及融合多种传感器数据的专业软件产品。

松下

世界著名的国际综合性电子技术企业集团。松下（Panasonic）的MEMS业务由其汽车和产业系统公司运营，主要产品有陀螺仪传感器、加速度传感器、压力传感器、使用MEMS音叉的红外传感器，此外正为医疗应用研发基于MEMS技术的新系统。

国内知名MEMS厂商

歌尔声学

歌尔股份有限公司是国内外声光电龙头，主营业务可分为智能声学整机、智能硬件、精密零组件三类。其中精密零组件业务包括各类MEMS传感器模组、微型扬声器、麦克风、天线、受话器模组以及光学模组。歌尔的微型麦克风及MEMS传感器制造能力全球领先。

瑞声科技

瑞声声学科技（深圳）有限公司是全球知名的电声器件制造商之一，专门设计及生产微型声学器件，产品用于手机、PDA机及其它消费性手提设备。瑞声科技的主要业务包括动圈器件、触控马达及无线射频结构件、微电机系统器件三大部分。

敏芯微电子

苏州敏芯微电子技术股份有限公司是一家专业从事微电子机械系统传感器研发设计的高新技术企业。公司三大产品线分别为MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器，应用场景涵盖了消费电子、医疗、工业控制以及汽车电子等领域。

艾睿光电

烟台艾睿光电科技有限公司是行业领先的红外焦平面探测器、机芯组件研发生产企业，致力于提供专业的红外成像产品和解决方案。其中红外探测器芯片量产能力行业领先，产品广泛应用于国防高端装备、智慧安防监控、自动驾驶夜视、物联网、人工智能视觉等领域。

美新半导体

美新半导体(天津)有限公司主要从事MEMS和模拟、混合信号集成电路及应用系统的研制，首次实现将MEMS和CMOS兼容工艺高效地集成于单一芯片。在惯性传感器、地磁传感器、应用系统、基于MEMS流量传感器的气体质量流量仪表以及算法和软件产业化上国际领先。

格科微电子

格科微电子（上海）有限公司是中国领先的CMOS图像传感器芯片、DDI显示芯片设计公司。该公司的CMOS图像传感器芯片、DDI显示芯片广泛应用于手机、智能穿戴、移动支付、平板、笔记本、摄像机以及汽车电子等产品领域。

明皜传感

苏州明皜传感科技有限公司主要从事MEMS传感器的研发、设计和生产，并提供相关技术服务，主要产品有加速度计、力度传感器、陀螺仪、压力传感器、MEMS麦克风以及相关模组等，服务于消费电子、汽车电子、工业自动化等领域。

纳芯微电子

苏州纳芯微电子有限公司致力于高性能集成电路芯片的设计、开发、生产和销售，是国内专业面向传感器系统，提供一站式传感器IC解决方案和持续技术支持的IC设计公司。已先后推出多款应用，如加速度传感器、高度计、工业变送器、汽车压力传感器的信号调理ASIC等。

苏州迈瑞微电子

苏州迈瑞微电子有限公司是从事集成电路设计、算法建模和软件开发的高科技公司。目前产品主要是半导体指纹传感器芯片、算法和相关软件，是全球范围内除苹果公司以外极少数同时掌握了芯片和自主算法的指纹识别技术公司。

龙微科技

龙微科技（无锡）有限公司是一家致力于MEMS芯片、高端传感器、物联网，一体化运营的综合性高新技术企业。公司以自有的MEMS传感器芯片设计技术为基础，形成了MEMS压力、温度、湿度传感器三大系列产品。其中工业级高精度传感器、环境监测传感器等核心产品达到国际水平。

中星测控

西安中星测控有限公司是国内著名的专业传感器生产商，拥有自主研发的多种陀螺仪和传感器产品，主要提供压力传感器、液位传感器、倾角传感器、加速度传感器和IMU、航姿系统等多种自主研发的传感器以及物联网产品及解决方案。

深迪半导体

深迪半导体专注于设计、生产商用MEMS陀螺仪系列惯性传感器的芯片。公司产品包括：单轴/三轴MEMS陀螺仪芯片、三轴陀螺仪+三轴加速度计芯片（六轴IMU）、陀螺仪+加速度计+地磁仪的全套解决方案（九轴IMU方案），广泛应用于ESP和车载惯性导航、大规模工业制造、精准农业等领域。